首先，臭氧為什么要冷卻呢?我們知道， 臭氧發生器是一種帶內部產熱的氣相反應器，由于空氣及其他類似氣體是不良熱導體，電暈放電形成的熱量會使氣體溫度升高，較高的溫度可加速臭氧的逆反應，即臭氧還原成氧氣，從而降低臭氧產量。因此有效冷卻也是提高臭氧發生器效率的一項措施。

其次那臭氧發生器采用哪種冷卻方式呢?有效冷卻也是提高臭氧發生器效率的一項措施，由于水和油的吸熱系數遠遠大于空氣的吸熱系數，因此一般工業用臭氧發生器均采用水冷式或油冷卻式，由于氣冷方便易行，一般在微型臭氧發生器中經常采用此種形式。

對于水冷卻方式的臭氧發生器要考慮冷卻水的水質，以防止冷卻水結垢，以免影響臭氧發生器的散熱效果，從而減少臭氧的產量，增加維護費用。對于氣冷卻方式的臭氧發生器來說，冷卻空氣必須無潮氣、雜質、腐蝕性、氣溶膠、油質或導電物質以及可見粉塵等物質。